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氧化硅拋光液/氧化鋁拋光液
    發布時間: 2023-12-29 10:30    
氧化硅拋光液/氧化鋁拋光液

氧化硅拋光液的優勢、應用和產品參數如下:


優勢:

均勻的球形SiO2粒子,可循環使用多次。

去除率高,拋光性能穩定,可選用中性或弱酸性拋光液對應。

精密的拋光質量,Ra<0.2nm、TTV<3μm。

有效減少拋光后的表面劃傷,降低拋光后的表面粗糙度。

適用于35℃以下的低溫拋光工藝。

高平坦化研磨加工。

由高純納米二氧化硅復合配置而成,通過高科技術分散成納米顆粒,高含量分散均勻的納米拋光液。


應用:

微晶玻璃的表面拋光加工。

硅片的粗拋和精拋以及IC加工過程,適用于大規模集成電路多層化薄膜的平坦化加工。

晶圓的后道CMP清洗等半導體器件的加工過程、平面顯示器、多晶化模組、微電機系統、光導攝像管等的加工過程。

廣泛用于CMP化學機械拋光,如:硅片、化合物晶體、精密光學器件、硬盤盤片、寶石、大理石等納米級及亞納米級拋光加工。


產品參數:

主要成分:SiO2。

外觀:白色液體。

密度:1.15±0.05g/cm3。

稀釋率:<1:1.15±0.05。

pH值:9.8±0.5(1~10)。

拋光溫度:10~38℃。

拋光壓力:9.8±0.5Pa。

請注意,在實際使用過程中,需要根據具體情況調整參數,以達到最佳的拋光效果。